这些是高纯度的，几乎在所有情况下，单元素薄膜组成的一层沉积在固体，刚性，厚基板。这些标准比相应的箔材标准更可靠，通常成本更低，但通常适用于一种或一小部分涂层厚度应用。基底上的单层涂层标准由XRF用于校准具有与标准相同或类似基底的样品上的单层厚度测试应用。如果标准样品的基质与被测样品的基质不同，请在购买这些标准样品之前咨询您的XRF供应商。这些标准通常安装在与箔片标准相同的框架中，暴露出标准的有限区域以进行测量。
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