这些是高纯度箔由3或4个单独的、不同的层组成，这些层由单元素膜和某些情况下的合金膜组成。这种箔可以放置在任何空白基板上，用于XRF校准或3或4层厚度和成分测量。由于其固有的脆弱性，所有金属膜厚度小于等于1微米的箔材都应用于3.6微米的聚酯薄膜箔材上，以提供支撑和增强耐用性。特殊元件箔可能有例外。较厚的箔材组合也可由薄的有机（X射线透明）薄膜支撑，以增加支撑力和耐用性。这些箔材粘附在不锈钢金属框架上，以便于搬运和贴标签，暴露有限面积的箔材进行测量。
Au/Pd/Ni 元素:
Au/Pd/Ni-P元素：
Au-Ag/Pd/Ni 元素：
Au/Ag/Pd/Ni 元素：
Cr/Ni/Cu元素：
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