这些是高纯度的，在几乎所有情况下，单元素薄膜由两个独立的层组成，可以放置在任何空白基板上进行XRF校准。由于其固有的脆弱性，所有厚度小于等于1微米的薄膜都应用于3.6微米的聚酯薄膜箔上，以提供支撑和增强耐用性。特殊薄膜组合箔例外。较厚的箔也可由薄的有机（X射线透明）薄膜支撑，以增加支撑力和耐用性。这些箔材粘附在不锈钢金属框架上，以便于搬运和贴标签，暴露有限面积的箔材进行测量。双层箔用于通过XRF校准2层厚度测量应用。
Ni/Cu 元素：
Rh/Ni 元素：
Sn/Ni 元素;
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